MEMS ist eine grundlegende Technologie mit einer Vielzahl an Möglichkeiten.
MEMS Bauteile werden sicherlich in fortschrittlichen Steuerungssystemen
von Fahrzeugen und Flugzeugen eingesetzt. Sie werden immer öfter
in implantierbaren medizinischen Geräten und chirurgischer Ausrüstung
benötigt um medizinische Eingriffe zu minimieren.
MEMS werden gebraucht werden um portable biochemische Testsysteme
herzustellen, die kontinuierlich chemische Analysen durchführen.
Eine der vielleicht bedeutsamsten Anwendungen könnte sein mit
MEMS winzige integrierte optische Systeme zu erstellen um z.B. ein
optisches Internet zu realisieren, daß in einer heute unvorstellbaren
Geschwindigkeit agiert.
