Nein. MEMS wurden vor geraumer Zeit in Forschungslaboren studiert,
angefangen in den späten 60er Jahren. Die ersten kommerziellen
MEMS Bausteine erschienen in den frühen 90er Jahren in der Automobilindustrie.
Später, innerhalb dieses Jahrzehntes, bemerkten andere Industriezweige
die Vorteile dieser Technologie, die Kosten und Systemabmessungen
reduziert.
