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Häufig gestellte Fragen

Wie klein sind MEMS?

MEMS werden typischerweise in Mikrometern gemessen. Zum Vergleich: der Durchmesser eines menschlichen Haares beträgt ungefähr 100 Mikrometer.
Eine MEMS liegt im Bereich von einigen Millimetern bis zu mehreren Zentimetern

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