MEMS steht für Mikro Elektro Mechanisches System, eine Gattung
kleiner Geräte, winzige mechanische und elektrische Komponenten
integriert auf einem Silizium Chip.
MOEMS steht für Mikro Opto Elektro Mechanisches System, das zusätzlich
zu mechanischen und elektrischen Komponenten, Wellenleiter oder andere
optische Elemente im Silizium Chip integriert hat.
MST, üblicherweise in Europa verwendet, steht für Mikro
System Technologie und wird oft gebraucht um MEMS zu beschreiben.
