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Häufig gestellte Fragen

> Was bedeuten die Abkürzungen MEMS, MOEMS, und MST ?
> Benötigen MEMS eine neue Technologie ?
> Wie klein sind MEMS ?
> Was sind die MEMS Produkte und wer benutzt sie ?
> Was sind die zukünftigen MEMS Produkte ?
> Wie werden MEMS hergestellt ?
> Worin unterscheiden sich MEMS-Prozesse von herkömmlichen Halbleiterprozessen ?