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MEMS Generatoren

DOLPHIN entschied sich 1997 an der MEMS Entwicklung und Modellierung, d.h. der Integration von mikroelektromechanischen Strukturen in Einchipsystemen oder auf platinenbasierenden Systemen, zu beteiligen. In Duisburg wurde die Tochtergesellschaft Dolphin Integration GmbH gegründet um diese Aktivitäten zu unterstützen. Als erste Anlaufstelle für dynamischen Austausch zwischen mechanischen und elektronischen Elementen wirkten unterstützend beim Wissenstransfer die Gerhard Mercator University und das Fraunhofer Institut für mikroelektronische Schaltungen und Systeme in Duisburg mit. Es erleichterte die industriellen Partnerschaften in einer Region, die sehr erfahren im Bereich der Mechatronik ist. DOLPHIN bietet Modellierungsdienste, eine Modellierungsbibliothek und MEMS Generatoren an.

 

> Was ist ein MEMS Generator? Ein Generator ist ein EDA Werkzeug, das automatisch das Layout und ein zugehöriges Simulationsmodell für siliziumbasierende Prozesse erzeugt. Unsere MEMS Generatoren erzeugen das Layout des elektromechanischen Teils der MEMS. Neben der automatischen Layout-Generation unterstützen die Generatoren die Designer mit Simulationsmodellen, mit deren Hilfe sich komplette MEMS simulieren lassen.   > Wozu werden Generatoren für MEMS benötigt? In den meisten Fällen muß der mechanische Teil der MEMS an einen speziellen Verwendungszweck angepaßt werden. Zum Beispiel hängt der Durchmesser eines Drucksensorelementes von dem Druckbereich ab den der Sensor überdecken soll. Die Dimensionsänderungen können von einem Layoutgenerator übernommen werden. Im Vergleich zur manuellen Layouterstellung spart man erheblich Zeit und vermeidet Fehler. > Welche MEMS können wir erzeugen? DOLPHIN bietet momentan nur kapazitive Drucksensorgeneratoren an. Zwei weitere Generatoren befinden sich in der Entwicklung: ein Gyroskop-Generator und ein Beschleunigungssensor. Wenn Sie mehr über diese neuen Generatoren erfahren möchten, wenden Sie sich an uns um die Datenblätter zu erhalten.